本文件规定了电子工业用气体氙/氖混合气（以下简称氙/氖混合气）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存等。本文件适用于电子工业用氙/氖混合气，其测定范围（体积分数）：氙气为0.1%～10%，其它组分比例的氙/氖混合气可参考执行。

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本文件规定了电子工业用气体氧/氮混合气（以下简称氧/氮混合气）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存等。本文件适用于电子工业用氧/氮混合气，其测定范围（体积分数）：氧气为0.1%～50%，其它组分比例的氧/氮混合气可参考执行。

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本文件规定了电子工业用气体氟气混合气（以下简称氟气混合气）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存及安全等。本文件适用于电子工业用氟气混合气，主要用于激光气、汽车、制药工业中材料氟化处理等领域。氟气混合气中平衡气多采用氮气、氖气或氦气，也可以是其他不与氟气发生化学反应，且不影响反应工艺的气体。

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本文件规定了电子工业用气体一氟甲烷（以下简称一氟甲烷）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存及安全等。本文件适用于以工业一氟甲烷为原料经纯化制备的电子工业用一氟甲烷，它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体。

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本文件规定了电子工业用气体氘代氨（以下简称氘代氨）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存。本文件适用于以高纯氘气和高纯氮气为原料合成并经过精制纯化的氘代氨。

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本文件规定了电子工业用气体三氟化氮混合气（以下简称三氟化氮混合气）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存和安全的要求。本文件适用于半导体电子工业领域。本文件中的三氟化氮混合气的平衡气多为氦气、氩气、氮气，也可以是其他不与三氟化氮混合气发生化学反应，且不影响反应工艺的平衡气。

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本文件规定了双三氟甲基磺酰亚胺锂溶液的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、储存和安全。本文件适用于由三氟甲磺酰氟和碳酸锂制备双三氟甲基磺酰亚胺锂溶液，该产品主要用于锂电池、锂离子电池电解液等领域。其他工艺生产的双三氟甲基磺酰亚胺锂溶液可参考执行。

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本文件规定了三正丁基甲基铵双（三氟甲基磺酰）亚胺和三正丁基甲基铵双（三氟甲基磺酰）亚胺溶液的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、储存和安全等。本文件适用于三正丁基甲基氯化铵和双三氟甲磺酰亚胺酸制备的三正丁基甲基铵双（三氟甲基磺酰）亚胺和三正丁基甲基铵双（三氟甲基磺酰）亚胺溶液离子液体，该产品主要用于偏光片、抗静电剂、绿色溶剂、有机催化剂及电池电解液等领域。其他工艺生产的三正丁基甲基铵双（三氟甲基磺酰）亚胺和三正丁基甲基铵双（三氟甲基磺酰）亚胺溶液可参考执行。

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本文件规定了开展水闸位移监测工作的总体要求、监测方法、监测设施及安装、位移观测、数据记录与分析、监测报告。本文件适用于水闸运行期的垂直位移和水平位移监测工作。

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本文件规定了水利工程建设项目施工文件类别、文件收集、整理和归档的要求。本文件适用于大中型水利工程建设项目（含1、2、3级堤防工程，包括新建、扩建、改建、除险加固等项目）的施工文件归档工作。其他水利工程建设项目可参照执行。

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本文件规定了液态空气的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存、安全警示和生产与使用等。本文件适用于以自然界空气为原料，利用低温冷能回收生产的液态空气或直接制冷生产的液态空气。

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本文件提供了钢铁企业故障诊断模型的系统组成，给出了常用故障类型、数据采集、数据通讯、故障诊断、模型数据存储、数据应用与优化、以及系统应用等方面的指导。本文件适用于钢铁企业的主辅设备及工艺设备的状态监测与故障诊断模型的构建和应用。

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本文件提供了基于工业互联网平台的制造业企业生产设备故障监测的指南。给出了故障监测平台架构、故障监测总则、故障监测流程、状态检测方法、故障诊断方法、状态预测方法、故障监测风险控制和故障诊断知识库构建等步骤。本文件适用于工业互联网的制造业企业生产设备设备故障监测的全过程。适用的设备类型包括但不限于自动化机械臂、生产线自动化系统、高精度加工设备等。

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本文件提出了基于人工智能的旋转设备故障诊断模型构建的指南，给出了总则、数据采集、数据清洗、数据存储、特征提取、模型构建、模型训练、评估与验证和应用与维护等指导。本文件适用于工业领域企业使用旋转设备的构建。

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本文件规定了电子工业用乙硼烷混合气（以下简称乙硼烷混合气）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存及安全等。本文件适用于电子工业用乙硼烷混合气，主要用作外延工艺的掺杂源、扩散工艺的扩散源和离子注入源。乙硼烷混合气中平衡气多为氦气、氩气、氮气、氢气，也可以是其他不与乙硼烷发生化学反应，且不影响反应工艺的气体。

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