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本文件规定了公共防疫保障服务的编制目的、能力评估、保障设施、重点防护措施、疫情应急处置和其他要求等。 本文件适用于提供公共防疫保障活动的相关单位和组织。
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本文件规定了对MEMS器件晶圆键合开展试验评价的方法和程序。 本文件适用于基于晶圆键合工艺加工的MEMS器件,包括MEMS器件成品结构、晶圆键合工艺过程结构等,可用于MEMS器件的提供者、使用者和第三方评价MEMS器件晶圆键合结构的可靠性。 注: 此处第三方是指在MEMS器件产品交付过程中进行认证和提供鉴定、试验等服务的独立机构。
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本规程适用于标称长度从0.5mm到1000mm,1等到5等,K级和0级到3级量块的首次检定和后续检定。
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