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GB/T 13388-2009 硅片参考面结晶学取向X射线测试方法 现行 发布日期 :  2009-10-30 实施日期 :  2010-06-01

2.1 本标准规定了α角的测量方法,α角为垂直于圆型硅片基准参考平面的晶向与硅片表面参考面间角。2.2 本标准适用于硅片的参考面长度范围应符合GB/T 12964和GB/T 12965中的规定,且硅片角度偏离应在-5°到+5°范围之内。

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GB/T 13388-1992 硅片参考面结晶学取向X射线测量方法 被代替 发布日期 :  1992-02-19 实施日期 :  1992-10-01

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