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GB/T 1557-2018 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法 现行 发布日期 :  2018-09-17 实施日期 :  2019-06-01

本标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶晶体中间隙氧含量的方法。本标准适用于室温电阻率大于0.1 Ω·cm的N型硅单晶和室温电阻率大于0.5 Ω·cm的P型硅单晶中间隙氧含量的测定。以常温红外设备测试时,氧含量(原子数)测试范围从1×1016 cm-3到硅中间隙氧的最大固溶度;以低温红外设备测试时,氧含量(原子数)的测试范围从0.5×1015 cm-3到硅中间隙氧的最大固溶度。

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GB/T 1557-1989 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法 被代替 发布日期 :  1989-03-31 实施日期 :  1990-02-01

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GB/T 1557-2006 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法 被代替 发布日期 :  2006-07-18 实施日期 :  2006-11-01

本标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶中的间隙氧含量的方法。 本标准适用于室温电阻率大于0.1 Ω·cm的n型硅单晶和室温电阻率大于0.5 Ω·cm的p型硅单晶中间隙氧含量的测量。 本标准测量氧含量的有效范围从1×1016at·cm-3到硅中间隙氧的最大固溶度。

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