微信公众号随时随地查标准

QQ交流1群(已满)

QQ群标准在线咨询2

QQ交流2群

购买标准后,可去我的标准下载或阅读

本文件描述了用低温傅立叶变换红外光谱法测定硅单晶中Ⅲ、Ⅴ族杂质含量的方法。
本文件适用于硅单晶中的Ⅲ、Ⅴ族杂质铝(Al)、锑(Sb)、砷(As)、硼(B)、镓(Ga)、铟(In)和 磷(P)含量的测定,各元素的测定范围(以原子数计)为1.0×10 10 cm -3~4.1×10 14 cm -3

定价: 29元 / 折扣价: 25 加购物车

在线阅读 收 藏

2.1 本标准适用于检测硅单晶中的电活性元素硼(B)、磷(P)、砷(As)、铝(Al)、锑(Sb)和镓(Ga)的含量。2.2 本标准所适用的硅中每一种电活性元素杂质或掺杂剂浓度范围为(0.01×10 -9~5.0×10 -9)a。

定价: 29元 / 折扣价: 25 加购物车

在线阅读 收 藏
2 条记录,每页 15 条,当前第 1 / 1 页 第一页 | 上一页 | 下一页 | 最末页  |     转到第   页  
Baidu
map