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GB/T 4059-2018 硅多晶气氛区熔基磷检验方法 现行 发布日期 :  2018-12-28 实施日期 :  2019-11-01

本标准规定了多晶硅中基磷含量的检验方法。本标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基磷含量(原子数)的测定,测定范围为0.01×1013 cm-3~500×1013 cm-3。

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GB/T 4059-1983 硅多晶气氛区熔磷检验方法 被代替 发布日期 :  1983-12-20 实施日期 :  1984-12-01

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GB/T 4059-2007 硅多晶气氛区熔基磷检验方法 被代替 发布日期 :  2007-09-11 实施日期 :  2008-02-01

本标准适用于多晶硅沉积在硅芯上生长的多晶硅棒基磷的检验。 本标准检测杂质浓度的有效范围:0.002×10-9~100×10-9。

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