【国际标准】 Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 45: Silicon based MEMS fabrication technology - Measurement method of impact resistance of nanostructures

本网站发布时间： 2025-04-08

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标准简介

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标准号：
IEC 62047-45:2025 EN
标准名称：
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 45: Silicon based MEMS fabrication technology - Measurement method of impact resistance of nanostructures
英文名称：
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 45: Silicon based MEMS fabrication technology - Measurement method of impact resistance of nanostructures
标准状态：
现行
发布日期：
2025-03-20
实施日期：
出版语种：
EN

IEC 62047-45:2025 EN