【团体标准】远程等离子体源的解离率测试方法

本网站发布时间： 2024-11-07

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标准简介

本文件规定了远程等离子体源的解离率测试方法的术语和定义、原理、符号与缩略语、测试环境条件、仪器设备及样品、操作准备、测试步骤、数据处理、测量不确定度、试验报告。本文件适用于泛半导体表面处理、清洗等应用场合中，通入气流量60SLM、功率40kW以内远程等离子体源的解离率测试。

起草人：
胡强、陈泽廷、郭晓东、杨振怀、黄星星、苏垦英、肖永能、郭远军、何斌、黎天韵、张清培、黄小婵、朱国俊、潘小刚、乐卫平、金名亮、刘涛、林桂浩、林伟群、何志军、张文杰、卫红
起草单位：
季华实验室、江苏神州半导体科技有限公司、华南师范大学、深圳市恒运昌真空技术股份有限公司、中山凯旋真空科技股份有限公司
归口单位：
广东省真空学会
提出部门：
广东省真空学会
发布部门：
广东省真空学会

【团体标准】 远程等离子体源的解离率测试方法