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【团体标准】 半导体超纯聚合物过流部件污染物检测及表面粗糙度技术要求

本网站 发布时间： 2024-11-13
  • T/CHPSA YY005-2024
  • 现行
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标准简介标准简介

适用范围：

本文件规定了半导体超纯聚合物过流部件污染物检测方法及表面粗糙度技术要求、数据整理与检测报告等。

基本信息

  • 标准号：

    T/CHPSA YY005-2024

  • 标准名称：

    半导体超纯聚合物过流部件污染物检测及表面粗糙度技术要求

  • 英文名称：

    Technical specification for contamination and surface roughness of wet components made of ultrapure polymer materials used in semiconductor processing

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2024-11-01

  • 实施日期：

    2024-12-01

  • 出版语种：

标准分类号

  • 标准ICS号：

    23.020.01

  • 中标分类号：

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

  • 字数：

  • 开本：

其他信息

  • 起草人：

    苏芮、傅新、胡亮、杨军、张翼飞、徐文苹、李春华、常燕、郝萍、赵美慧、贾振国、曹永友、赵德文、吴均、苗阵、李东升、古智扬、张仕成、庄海云、李刚、靳志强、叶建东、蒋超伟、付华

  • 起草单位：

    浙江启尔机电技术有限公司、上海市计量测试技术研究院、浙江大学、江苏沃凯氟精密智造有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、华海清科股份有限公司、盛美半导体设备（上海）股份有限公司、沈阳芯源微电子设备股份有限公司、上海正帆科技股份有限公司、上海至纯系统集成科技有限公司、苏州冠礼科技有限公司、创微微电子（常州）有限公司、江苏亚电科技股份有限公司、中国电子科技集团公司第二研究所、江苏科沛达半导体科技有限公司、江苏芯梦半导体设备有限公司、中国液压气动密封件工业协会

  • 归口单位：

    中国液压气动密封件工业协会

  • 提出部门：

    中国液压气动密封件工业协会

  • 发布部门：

    中国液压气动密封件工业协会
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