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【团体标准】 中频磁控溅射电源技术要求

本网站 发布时间： 2025-03-11
  • T/CITS 267-2025
  • 现行
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标准简介标准简介

适用范围：

本文件规定了中频磁控溅射电源的技术参数、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输和贮存。本文件适用于中频磁控溅射电源的设计、生产、检验和使用。

基本信息

  • 标准号：

    T/CITS 267-2025

  • 标准名称：

    中频磁控溅射电源技术要求

  • 英文名称：

    Technical requirements of medium frequency magnetron sputtering power supply

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2025-02-19

  • 实施日期：

    2025-02-19

  • 出版语种：

标准分类号

  • 标准ICS号：

    29.200

  • 中标分类号：

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

  • 字数：

  • 开本：

其他信息

  • 起草人：

    刘力、徐梁格、曾旭初、冯红涛、魏智博、张斌、刘岩、吴永利、汪贤峰、时俊伟、王艳杰、徐敬铭、包瑾、陈致杭

  • 起草单位：

    固赢科技（深圳）有限公司、哈尔滨工业大学、成都众鑫达科技有限公司、深圳市三束镀膜技术有限公司、苏州精新汇能电源科技有限公司、中国科学院兰州化学物理研究所、通标中恒标准化技术研究院（北京）有限公司

  • 归口单位：

    中国检验检测学会

  • 提出部门：

    中国检验检测学会

  • 发布部门：

    中国检验检测学会
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