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【团体标准】 碳化硅晶圆激光隐形切割设备技术要求

本网站 发布时间: 2025-02-07
  • T/CI 577-2024
  • 现行
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标准简介标准简介

适用范围:

本文件规定了碳化硅晶圆激光隐形切割设备的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于碳化硅晶圆激光隐形切割设备。

基本信息

  • 标准号:

    T/CI 577-2024

  • 标准名称:

    碳化硅晶圆激光隐形切割设备技术要求

  • 英文名称:

    Technical requirements for silicon carbide wafer laser stealth cutting equipment
  • 标准状态:

    现行
  • 发布日期:

    2024-11-11
  • 实施日期:

    2024-11-11
  • 出版语种:

标准分类号

  • 标准ICS号:

    25.120.10
  • 中标分类号:

    J62

关联标准

  • 替代以下标准:

  • 被以下标准替代:

  • 引用标准:

  • 采用标准:

出版信息

  • 页数:

  • 字数:

  • 开本:

其他信息

  • 起草人:

    顾斌、郭伟杰、沂海辉、刘召军、李军、王辉、萧俊龙、邱成峰、周海辉、胡志豪、胡莎莉
  • 起草单位:

    苏州德龙激光股份有限公司、厦门大学、重庆康佳光电技术有限公司、深圳市思坦科技有限公司
  • 归口单位:

    中国国际科技促进会
  • 提出部门:

    中国国际科技促进会
  • 发布部门:

    中国国际科技促进会
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