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【团体标准】 光刻用AT切石英晶片

本网站 发布时间: 2024-12-25
  • T/CECA 68-2022
  • 现行
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标准简介标准简介

适用范围:

本文件规定了光刻用AT切石英晶片的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标识、运输、储存。本文件适用于光刻用AT切石英晶片。

基本信息

  • 标准号:

    T/CECA 68-2022

  • 标准名称:

    光刻用AT切石英晶片

  • 英文名称:

    AT - cut quartz crystal wafers for photolithography
  • 标准状态:

    现行
  • 发布日期:

    2022-08-04
  • 实施日期:

    2022-08-10
  • 出版语种:

标准分类号

  • 标准ICS号:

    31.140
  • 中标分类号:

    L21

关联标准

  • 替代以下标准:

  • 被以下标准替代:

  • 引用标准:

  • 采用标准:

出版信息

  • 页数:

  • 字数:

  • 开本:

其他信息

  • 起草人:

    院中杰、张营、朱中晓、张立强、郑玉南、刘峰、李宗杰、叶竹之、李辉、王斌、李庆跃、张绍锋、张璇、高艺箐、刘其胜、尚虎、毛晶、张翔、汪鑫、刘盛浦、朱永安、廖巧云、叶国萍、郭正江、石胜雄、刘青彦、杨清明、高志祥、马怀昌
  • 起草单位:

    北京石晶光电科技股份有限公司、唐山国芯晶源电子有限公司、广东惠伦晶体科技股份有限公司、成都泰美克晶体技术有限公司、泰晶科技股份有限公司、东晶电子金华有限公司、烁光特晶科技有限公司、深圳市晶峰晶体科技有限公司、三生电子(天津)有限公司、武汉海创电子股份有限公司、安徽晶赛科技股份有限公司、山东博达光电有限公司、研创科技(惠州)有限公司、汇隆电子(金华)有限公司、鸿星科技(集团)股份有限公司、成都晶宝时频技术股份有限公司、南京中电熊猫晶体科技有限公司、上海锐星微电子科技有限公司
  • 归口单位:

    中国电子元件行业协会
  • 提出部门:

    中国电子元件行业协会
  • 发布部门:

    中国电子元件行业协会
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