【团体标准】用于集成电路的光学临近效应校正软件设计导则

本网站发布时间： 2024-01-31

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标准简介

本文件规定了用于集成电路的光学临近效应校正软件的设计原则、功能模块和设计要求。本文件适用于集成电路的光学临近效应校正软件的功能架构开发，采用干式及浸没式光刻技术的相关领域可参照使用。

标准号：
T/WHAS 062-2023
标准名称：
用于集成电路的光学临近效应校正软件设计导则
英文名称：
Design Guidelines for Optical Proximity Correction Software for Integrated Circuits
标准状态：
现行
发布日期：
2023-12-26
实施日期：
2024-01-10
出版语种：

【团体标准】 用于集成电路的光学临近效应校正软件设计导则