【团体标准】半导体行业超纯水工艺抛光混床用离子交换树脂产品认证技术要求

本网站发布时间： 2024-06-26

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标准简介

本文件适用于半导体行业超纯水制备用的抛光混床用离子交换树脂。

标准号：
T/ZGM 007-2024
标准名称：
半导体行业超纯水工艺抛光混床用离子交换树脂产品认证技术要求
英文名称：
Technical specifications of ion exchange resin in mixed bed for polish process of ultrapure water in semiconductors industry
标准状态：
现行
发布日期：
2024-05-24
实施日期：
2024-05-31
出版语种：

起草人：
张力，李明党，钱平，胡锦强，谭志龙，龙津达，双陈冬，张烨鹏，刘红院，郭为磊，杨奇，郭晋汉，周家付，张优慰，殷梓卿
起草单位：
西安蓝晓科技新材料股份有限公司，山东德川化工科技有限责任公司，江苏苏青水处理工程集团有限公司，宁波争光树脂有限公司，浙江普尔树脂有限公司，湖北绿兴捷资源科技有限公司，南京大学，鹤壁市海格化工科技有限公司，西安蓝深新材料科技股份有限公司，凯瑞环保科技股份有限公司，蚌埠市天星树脂有限责任公司，中国船舶集团有限公司第七一九研究所，安徽三星树脂科技有限公司，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司
归口单位：
中国膜工业协会
提出部门：
中国膜工业协会
发布部门：
中国膜工业协会

【团体标准】 半导体行业超纯水工艺抛光混床用离子交换树脂产品认证技术要求