【团体标准】光纤预制棒用四氯化硅容器清洗技术规范

本网站发布时间： 2020-06-24

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标准简介

本标准规定了光纤预制棒用四氯化硅产品容器清洗的设施和材料、清洗条件、清洗及质量控制的要求。本标准适用于光纤预制棒用四氯化硅充装容器的清洗，光纤预制棒用四氯化锗，半导体用三氯氢硅、二氯二氢硅、六氯乙硅烷等液体化工产品容器的清洗可参照使用。

标准号：
T/CEMIA 015-2018
标准名称：
光纤预制棒用四氯化硅容器清洗技术规范
英文名称：
Technical specification for container cleaning of silicon tetrachloride for optical fiber preform
标准状态：
现行
发布日期：
2018-12-28
实施日期：
2019-03-28
出版语种：
中文简体

起草人：
赵雄、严大洲、王磊、赵宇、郭树虎、陈娅丽、李东升、谢康、肖华、蒋锡华、于景明、莫杰、万烨、常欣、梁君、周小红、汤剑波、卫晓明、刘见华、张园园
起草单位：
洛阳中硅高科技有限公司、中天科技精密材料有限公司、上海正帆科技股份有限公司、青海中利光纤技术有限公司、江苏亨通光导新材料有限公司、通鼎互联信息股份有限公司、威海长和光导科技有限公司、有研国晶辉新材料有限公司、多晶硅材料制备技术国家工程实验室
归口单位：
中国电子材料行业协会
提出部门：
中国电子材料行业协会
发布部门：
中国电子材料行业协会

【团体标准】 光纤预制棒用四氯化硅容器清洗技术规范