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【团体标准】 半导体制程8英寸(200 mm)12英寸(300 mm)用石英玻璃炉管

本网站 发布时间： 2024-03-19
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适用范围：

本文件规定了半导体制程8英寸（200 mm）12英寸（300 mm）用石英玻璃炉管的术语和定义，分类和产品结构，技术要求，试验方法，检验规则，标志、包装、贮存和运输。本文件适用于半导体扩散工艺制程8英寸（200 mm）12英寸（300 mm）用石英玻璃炉管制品，包含石英外管、石英内管、石英工艺管及石英双层管（以下简称“石英玻璃炉管”），不适用于14 nm及以下半导体制程用石英玻璃炉管。

基本信息

  • 标准号：

    T/CEMIA 033-2023

  • 标准名称：

    半导体制程8英寸(200 mm)12英寸(300 mm)用石英玻璃炉管

  • 英文名称：

    Quartz glass tube for 8 in 12 in Semiconductor Process

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2023-06-08

  • 实施日期：

    2023-09-08

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    31.030

  • 中标分类号：

    L90

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    16 页

  • 字数：

    26 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    蓝呈、吕红兵、张婷婷、余韦华、周文华、周韦军、李军竹、芦英、杨慧萍、曹永友、张忠恕、王友军

  • 起草单位：

    上海强华实业股份有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司、北京凯德石英股份有限公司、中建材衢州金格兰石英有限公司

  • 归口单位：

    中国电子材料行业协会

  • 提出部门：

    中国电子材料行业协会

  • 发布部门：

    中国电子材料行业协会
  • 其它标准
  • 推荐标准

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