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- DB53/T 501-2013 多晶硅用三氯氢硅杂质元素含量测定 电感耦合等离子体质谱法
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标准简介适用范围：
本标准规定了电感耦合等离子体质谱法测定多晶硅用三氯氢硅中硼、铁、铝、钙、铜、铬、镍、锑、钴、锌、锡、钛、锰杂质元素含量的方法本标准适用于改良西门子法生产多晶硅用三氯氢硅中硼、铁、铝、钙、铜、铬、镍、锑、钴、锌、锡、钛、锰杂质元素含量的测定
标准号：
DB53/T 501-2013
标准名称：
多晶硅用三氯氢硅杂质元素含量测定 电感耦合等离子体质谱法
英文名称：
标准状态：
废止-
发布日期：
2013-08-01 -
实施日期：
2013-10-01 出版语种：
