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- DB53/T 500-2013 多晶硅用三氯氢硅组分含量测定 气相色谱法
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标准简介适用范围：
本标准规定了气相色谱法测定多晶硅用三氯氢硅中SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4、HCl 组分含量的方法本标准适用于改良西门子法生产多晶硅用三氯氢硅中SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4、HCl含量的测定测定范围: SiH2Cl2 ＞0.01%，SiCl4＞0.01%，HCl＞0.01%
标准号：
DB53/T 500-2013
标准名称：
多晶硅用三氯氢硅组分含量测定 气相色谱法
英文名称：
标准状态：
废止-
发布日期：
2013-08-01 -
实施日期：
2013-10-01 出版语种：
